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碳化硅SiC产业链供需测算

日期:2021-12-25 17:55:56 

产线陆续开通,大尺寸晶圆渐成主流。


衬底方面:2020年烁科晶体SiC衬底项目投产,同时天科合达、同光晶体、南砂晶圆等几大衬底生产商均在扩张6英寸衬底产能。


器件方面:SiC产线从4英寸向6英寸发展。据CASAResearch不完全统计,2020年国内投产3条6英寸SiC晶圆产线,截至2020年底,国内至少已有8条6英寸SiC晶圆制造产线(包括中试线),另有约10条SiC生产线正在建设。


GaN电力电子产线方面,已有7条GaN-on-Si晶圆制造产线,另有约4条GaN电力电子产线正在建设。GaN射频产线方面,2020年有5条4英寸GaN-on-SiC生产线,约有5条GaN射频产线正在建设。


值得注意的是,大尺寸产线对材料技术和生产技术的要求更高,与国际相比,国内大尺寸晶圆制造技术尚未完全成熟,成本高昂、良率较低。企业要根据自身情况,综合考虑技术、成本、生产效率等多方面因素,选取最优的工艺路线。

国内SiC晶圆制造产线国内GaN晶圆制造产线

产能统计:据CASAResearch数据显示,SiC电力电子方面SiC导电型衬底折算4英寸产能约为40万片/年,SiC-on-SiC外延片折算6英寸产能约为22万片/年,SiC-on-SiC器件/模块(4/6英寸兼容)产能约26万片/年。


GaN电力电子方面GaN-on-Si外延片折算6英寸产能约为28万片/年,GaN-on-Si器件/模块折算6英寸产能约为22万片/年。GaN微波射频方面SiC半绝缘衬底折算4英寸产能约为18万片/年,GaN-on-SiC外延片折算4英寸产能约为20万片/年,GaN-on-SiC器件/模块折算4英寸产能约为16万片/年。

2020年我国SiC产能统计

2020年我国SiC产能统计2020年我国GaN产能统计SiC在新能源汽车中用量的估计

目前业界于电动车较积极导入SiC的主要装置和部件有主驱逆变器、车载充电器、车外充电器,SiC功率元件发挥如下优势:


  • 佳的内在特质:高效率,降低能量损耗;高转换频率,增加能量强度;可在更高的温度下运行,提升长期可靠性。


  • 性能改进和小型化:从Si-IGBT模组到SiCMOSFET模组,体积缩小了50%,效率提升了2%,器件的使用寿命得到延长。


  • 有助于降低电动车用户的使用成本:提升效率以达到节电目的,在相同输出功率下可增加续航里程、提升充电速度。

SiC器件在新能源汽车的优势

纯电动汽车:8寸晶圆可以满足13辆车的SiC需求;6寸晶圆可以满足7辆车的SiC需求8inchwafer=324.29平方厘米,假设良率为50%,BEV各部件需要的SiC晶圆面积:


  • 逆变器=10平方厘米;


  • OBC=1.8平方厘米;


  • DC/DC=0.9平方厘米,那么1张8寸晶圆可以满足13辆车的SiC需求。6inchwafer=176.7平方厘米,假设良率为50%,那么1张6寸晶圆可以满足7辆车的SiC需求。


油电混合车:8寸晶圆可以满足17辆车的SiC需求;6寸晶圆可以满足9辆车的SiC需求8inchwafer=324.29平方厘米,假设良率为50%,BEV各部件需要的SiC晶圆面积:


  • 逆变器=8平方厘米;


  • OBC=0.9平方厘米;


  • DC/DC=0.5平方厘米,那么1张8寸晶圆可以满足17辆车的SiC需求。


6inchwafer=176.7平方厘米,假设良率为50%,那么1张6寸晶圆可以满足9辆车的SiC需求。国内SiC商业化衬底以4英寸为主,逐步向6英寸过渡,微管密度小于1个/cm2,实现95%的衬底可用面积,位错约在1×103/cm2较上年有所进步。

国内SiC衬底技术指标进展

我国新能源汽车SiC需求测算:

全球及我国新能源汽车销量测算

纯电动汽车占新能源汽车比重为81%,以此数据假设,我国2021-2025年新能源汽车相关8英寸SiC晶圆需求为14.0万片、18.1万片、24.2万片、31.2万片、42.3万片,全球为27.0万片、36.5万片、49.5万片、64.4万片、89.4万片;6英寸SiC晶圆需求我国为24.9万片、32.1万片、43.1万片、55.4万片、75.2万片,全球为49.5万片、67.0万片、90.9万片、112.8万片、164.0万片。

新能源汽车SiC硅片需求量测算(片)


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